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本文介绍了光子能量为10．6ev真空紫外无极放电灯的工作原理、并对该灯所涉及到的关键材料及工艺的控制进行了探讨，同时也介绍了采用远真空紫外（0-200nm）光电倍增管建立辐射强度对比测试系统的方法。
10.6ev真空紫外光源的研制及测试
【摘 要】
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本文介绍了光子能量为10．6ev真空紫外无极放电灯的工作原理、并对该灯所涉及到的关键材料及工艺的控制进行了探讨，同时也介绍了采用远真空紫外（0-200nm）光电倍增管建立辐射强度对
【机 构】
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南京华东电子光电科技公司
【出 处】
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光电技术
【发表日期】
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2009年4期
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