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文章通过对纳米硅薄膜结构组分的研究，从实验和理论上共同探讨了其低维量子特征，并由此提出其电输运机制及其可见发光机理．最后，综合纳米硅薄膜的各种新颖物性，展望了其在纳米电子学和ＭＥＭＳ（ 微机电系统） 领域内的应用前景．
纳米硅薄膜的量子特征及其应用前景
【摘 要】
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文章通过对纳米硅薄膜结构组分的研究，从实验和理论上共同探讨了其低维量子特征，并由此提出其电输运机制及其可见发光机理．最后，综合纳米硅薄膜的各种新颖物性，展望了其在纳米电子
【机 构】
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苏州铁道师范学院物理系,南京大学物理系
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1999年12期
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