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本文根据最佳减振效果的理论模型,提出包括被动减振、主动减振等光刻机测量支架减振处理的几种方法,开发了相应实验装置,并通过实物测试评估了实验装置的减振效果。
光刻机测量支架减振效果研究
【摘 要】
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本文根据最佳减振效果的理论模型,提出包括被动减振、主动减振等光刻机测量支架减振处理的几种方法,开发了相应实验装置,并通过实物测试评估了实验装置的减振效果。
【机 构】
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上海微电子装备（集团）股份有限公司
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2019年7期
【基金项目】
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上海市优秀学术/技术带头人技术资助(项目编号:16XD1423100)
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