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分析了重力－弹力耦合驱动压电微电机的机理并给出了其运动学模型。制作了转子直径为０．４３３ｍｍ的压电微电机并实验验证了运动学模型。
重力—弹力耦合驱动压电微电机研究
【摘 要】
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分析了重力－弹力耦合驱动压电微电机的机理并给出了其运动学模型。制作了转子直径为０．４３３ｍｍ的压电微电机并实验验证了运动学模型。
【机 构】
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大连理工大学机械系,中国科学院长春光机所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1999年4期
【基金项目】
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自然科学基金,博士后基金,辽宁省博士启动基金
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