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原则上,进行集成电路版图设计时斜线是可以避免的,但为提高集成度和缩小芯片面积,往往要使用斜线图形.本文简要介绍用光学图形发生器加工斜线图形的一种数据处理方法和算法.使用该数据处理方法,制作了8k规模的磁泡存贮器掩膜版,在国内首次进行了用光学图形发生器直接加工这类初缩掩膜版的尝试.
光学图形发生器加工斜线图形的一种数据处理方法
【摘 要】
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原则上,进行集成电路版图设计时斜线是可以避免的,但为提高集成度和缩小芯片面积,往往要使用斜线图形.本文简要介绍用光学图形发生器加工斜线图形的一种数据处理方法和算法.使用该数据处理方法,制作了8k规模的磁泡存贮器掩膜版,在国内首次进行了用光学图形发生器直接加工这类初缩掩膜版的尝试.
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1984年01期
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