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稀土───SnO<sub>2</sub>薄膜气敏特性的研究
稀土───SnO<sub>2</sub>薄膜气敏特性的研究
来源 :江西化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chengjiangjie
【摘 要】
:
本文用真空镀锡膜、氧化和化学浸渍技术研制了稀土氧化物的SnO<sub>2</sub>薄膜气敏元件,并测试了薄膜的气敏特性,实验表明,元件对乙醇、丙酮蒸气的灵敏度高、线性范围宽,而对苯、丁
【作 者】
:
傅敏恭
王晓俊
王海源
陈戬
【机 构】
:
南昌大学化学系
【出 处】
:
江西化工
【发表日期】
:
1994年1期
【关键词】
:
稀土氧化物
SnO<sub>2</sub>
薄膜
气敏特性
【基金项目】
:
江西省自然科学基金资助项目
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本文用真空镀锡膜、氧化和化学浸渍技术研制了稀土氧化物的SnO<sub>2</sub>薄膜气敏元件,并测试了薄膜的气敏特性,实验表明,元件对乙醇、丙酮蒸气的灵敏度高、线性范围宽,而对苯、丁烷、液化石油气、NH<sub>3</sub>、H<sub>2</sub>和煤气等不敏感。
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