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介绍了一种采用纳米SiO2、TiO2改性聚二甲基硅氧烷（PDMS）的方法，研究了两种纳米材料SiO2、TiO2添加的比例对热压效果的影响及优化条件，并分析了其改性后的热膨胀系数及杨氏模量的变化，以及其改性后热压效果的提高进行了初步分析，最后用改性的PDMS材料，快速成型来制造热压模具，热压制作聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）微流控芯片。与常用的金属模具（如镍模具）相比，此方法具有脱模容易，工艺周期短，难度低，重复性好，价格低等优点。