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应用微氟催化循环蚀刻的方法对普通玻璃进行了蚀刻研究．在蚀刻液优化配比的条件下，选择了无痕催化的工艺条件为pH=4．5，温度50℃，蚀刻时5．5h．并对蚀刻后玻璃机基体表面进行了SME、EDX、IR分析，结果表明：蚀刻后的玻璃基体表面与原玻璃相较其表面IR、EDX谱图非常相近，基本达到无痕蚀刻．为玻璃精密仪器、仪表及其他精密工件的制造，提供了可靠的保证．