【摘 要】
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为了评估a-C∶H和ta-C涂层应用于铝合金干式切削刀具表面防护的可行性,在M2高速钢基底上,用RFPECVD方法沉积a-C∶H涂层,用磁过滤阴极真空电弧方法沉积了ta-C涂层。通过热重试
【机 构】
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温州职业技术学院机械工程系,武汉大学动力与机械学院,武汉大学深圳研究院离子束实验室
【基金项目】
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深圳市科技创新委员会基础研究项目(JCYJ20180302153906051)
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为了评估a-C∶H和ta-C涂层应用于铝合金干式切削刀具表面防护的可行性,在M2高速钢基底上,用RFPECVD方法沉积a-C∶H涂层,用磁过滤阴极真空电弧方法沉积了ta-C涂层。通过热重试验观测两种涂层在升温过程中的质量变化。将这两种涂层在大气环境退火,用拉曼光谱等方法表征涂层的结构,用纳米压痕法测量涂层硬度。通过大气环境下的球盘摩擦磨损试验,比较a-C∶H和ta-C涂层的对7075铝合金摩擦学性能。结果显示:经过400℃退火,a-C∶H涂层硬度从24.8GPa下降至20.0GPa,ta-C涂层硬度从28
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