带缺陷的微型机械结构动力学特性分析

来源 :机械工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：freezinghk

【摘要】

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在微机械设备中,由于制造方面的原因,存在诸如结构断裂、结构固定等缺陷,这些缺陷严重影响微机械设备的性能.通过建立微梁单元的三维动力学模型,应用节点分析方法,分别对带有

【作者】

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陈真勇何永勇褚福磊黄靖远

【机构】

：

清华大学精密仪器与机械学系

【出处】

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机械工程学报

【发表日期】

：

2004年6期

【关键词】

：

微型机械缺陷动力学模型模态分析 Micro-machineDefectsDymamic modelModal analysis

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在微机械设备中,由于制造方面的原因,存在诸如结构断裂、结构固定等缺陷,这些缺陷严重影响微机械设备的性能.通过建立微梁单元的三维动力学模型,应用节点分析方法,分别对带有微梁断裂、结构固定的微机械结构进行了动力学特性分析.计算结果表明微梁断裂使微机械结构的刚度降低,从而导致其固有频率变低,而结构固定则相反.

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