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介绍了一种新颖的DC－50GHz低相移、多功能的GaAs MMIC可变衰减器的设计与制作，获得了优异的电性能。微波探针在片测试结果为：在DC－50GHz频带内，最小衰减≤3.8dB，最大衰减≥35±5dB，最小衰减时输入／输出驻波≤1.5，最大衰减时输入／输出驻波≤2.2，衰减相移比≤1.2°/dB。芯片尺寸为2.33mm×0.68mm×0.1mm。芯片成品率高达80％以上，工作环境温度达125℃，可靠性高，稳定性好。