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期刊论文
HgCdTe表面钝化——阳极氟化的初步研究
HgCdTe表面钝化——阳极氟化的初步研究
来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a673897736123
【摘 要】
:
本文尝试采用非含水的NH4F或KF以及含水的KF电解质溶液对Hg1-xCdxTe(x=0.2)表面的阳极氟化进行了研究,着重分析了阳极氟化膜生长的基本过程及其机理,讨论了阳极氟化条件及工艺对薄膜组成及质量的影响。
【作 者】
:
桑文斌
方军
【机 构】
:
上海大学(嘉定校区),中国科学院上海硅酸盐研究所
【出 处】
:
功能材料与器件学报
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
表面钝化
HGCDTE
阳极氟化
半导体器件
Anodic fluoridization
surface passivation
HgCdTe
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本文尝试采用非含水的NH4F或KF以及含水的KF电解质溶液对Hg1-xCdxTe(x=0.2)表面的阳极氟化进行了研究,着重分析了阳极氟化膜生长的基本过程及其机理,讨论了阳极氟化条件及工艺对薄膜组成及质量的影响。
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