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微电子设备包含机械、电气技术、各种传感器技术，还包含电源、真空、制冷、激光、超声、焊接等各门类的知识。维修时要有充分的备件、设备数据的备份、微电子产品生产工艺知识，从局部入手还应该整体把握，可进行合理的更换来查找故障。
谈微电子专用设备的维修
【摘 要】
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微电子设备包含机械、电气技术、各种传感器技术，还包含电源、真空、制冷、激光、超声、焊接等各门类的知识。维修时要有充分的备件、设备数据的备份、微电子产品生产工艺知识
【机 构】
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中国电子科技集团第二十九研究所机动处
【出 处】
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设备管理与维修
【发表日期】
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2006年7期
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