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激光诱导液相沉积的机理可大致分为光电化学机理、热电化学机理和热分解机理等.通过试验及分析表明,CO2激光诱导液相沉积银属于简单的热分解机理.CO2激光起到局域热源的作用,在激光辐照过程中,光照区介质溶液及基体表面均发生了极其复杂的物理化学变化,最后诱导产生的银沉积在基体表面并部分扩散到了基体内部,成为后续化学镀铜的催化中心及过渡层.