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建立了表面热透镜技术测量光学薄膜微弱吸收的实验装置,对10.6μm CO2激光辐照下镀制在Ge基底上的不同厚度的单层ZnS,YbF3薄膜,以及镀制在Ge基底上不同膜系的(YbF3/ ZnSe)多层分光膜的弱吸收进行了测量,并对实验结果作了分析和讨论.实验结果表明,利用本实验系统已测得的待测样品的最低吸收为2.87×10-4,测量系统的灵敏度为10-5.