Effect of process parameters on electrical, optical properties of IZO films produced by inclination

来源 :中国有色金属学会会刊：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qrdao

【摘要】

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IZO 电影与使倾向的相反的目标类型 DC 在房间温度被扔到宠物底层上磁控管劈啪作响设备，在哪个一个 sintered 氧化物 IZO 目标(与 10% 做了 ZnO， 99.99% 的收拾行李的密度) 被

【作者】

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Do-Hoon SHIN Yun-Hae KIM Joong

【机构】

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KoreanAirAerospaceDivision,DepartmentofMechanicalandMaterialEngineering,DepartmentofMechanicalEngine

【出处】

：

中国有色金属学会会刊：英文版

【发表日期】

：

2009年4期

【关键词】

：

溅射薄膜工艺参数光学性能磁控直流类型薄膜厚度电力 indium-zinc-oxide（IZO） inclination opposite tar

【基金项目】

：

AcknowledgementThis research is financially supported by the Ministry of Education, Science Technology （MEST） and Korea Industrial Technology Foundation （KOTEF） through the Human Resource Training Pro

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IZO 电影与使倾向的相反的目标类型 DC 在房间温度被扔到宠物底层上磁控管劈啪作响设备，在哪个一个 sintered 氧化物 IZO 目标(与 10% 做了 ZnO， 99.99% 的收拾行李的密度) 被使用。IZO 电影性质上的全部的劈啪作响压力和电影厚度的效果被学习。在房间温度生产的所有电影有非结晶的结构，不管全部的劈啪作响压力和电影厚度。10 的顺序的一个抵抗力 ? 4 ?敲挠浯慰敲 d

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