【摘 要】
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MEMS技术促进了各种传感器的小型化和低成本化的发展,包括气体传感器。目前研制出的传感器系统,由于传感器芯片需要特殊的包封形式,故芯片封装需要的成本较高。为扩大气体传
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MEMS技术促进了各种传感器的小型化和低成本化的发展,包括气体传感器。目前研制出的传感器系统,由于传感器芯片需要特殊的包封形式,故芯片封装需要的成本较高。为扩大气体传感器的应用范围,关键在于实现气体传感器的低成本、低功率、高可靠性封装,本文主要研究了气体传感器的封装技术。传统的半导体封装形式如TO封装价格昂贵,本文提出了一个采用PCB板作为基板的封装方案,该方案采用电阻为1-2Ω的导电环氧树脂作为电流连接线。同时需要在PCB基板上的加热器电源的基础上添加一个额外电源,能够使气体传感器薄膜加热温度达到到30
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