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接近式光刻中一般采用柯勒照明系统，并采用蝇眼透镜形成多点光源均匀掩模面的光场分布．利用基尔霍夫衍射理论及多点光源的衍射光场非相干叠加方法，对光刻胶表面的衍射光场进行了快速计算机模拟，并与霍普金斯理论计算结果进行了分析比较．结果表明采用基尔霍夫衍射理论及多点光源的衍射光场非相干叠加的模型不仅快速而且也可以比较准确地模拟接近式光刻的衍射光场分布．