【摘 要】
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通过对微电子共晶SnBi/Cu焊点界面的微观力学性能的表征,介绍了纳米压痕法测量硬度、弹性模量、室温蠕变速率敏感系数的方法和原理。用恒定载荷法（4mN）测量了界面各相的硬度和
【机 构】
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沈阳航空工业学院材料科学与工程学院,中国科学院金属研究所
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通过对微电子共晶SnBi/Cu焊点界面的微观力学性能的表征,介绍了纳米压痕法测量硬度、弹性模量、室温蠕变速率敏感系数的方法和原理。用恒定载荷法（4mN）测量了界面各相的硬度和弹性模量,测量结果表明：焊点界面处Cu6Sn5、Cu3Sn、Cu、Bi、Sn各相的硬度平均值分别是6.0、2.8、1.6、0.7、0.3GPa;弹性模量分别为117.0、146.0、127.9、58.6、49.5GPa;共晶SnBi焊料经120℃7天时效后,硬度为0.22GPa（恒定载荷50mN）,弹性模量为73GPa,室温蠕变敏感指
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