精密宏微驱动技术的发展研究

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为系统分析宏微驱动技术研究现状,分别完成了宏微驱动技术中4种常用的宏驱动系统驱动方式及2种常用的微驱动系统驱动器研究现状分析;在总结宏微驱动技术发展现状的基础上分析了该技术发展过程中存在回转运动研究滞后于直线运动研究、宏微驱动系统体积大且结构复杂、系统控制滞后于结构设计、研究成果转化严重滞后于技术研究等问题;为解决该技术发展过程中存在的问题提出了相应的解决方法。
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