空气条件下在硅中进行热迁移的工艺研究

来源 :内蒙古大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:abwyn12
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空气条件下在硅中进行热迁移的工艺研究王松滨,孙强,苏翠玲,张治国(内蒙古大学物理学系,010021,呼和浩特;内蒙古师范大学物理学系,010024,呼和浩特)关键词硅,空气条件,热迁移中图资料分类号TN304.05InvestigationofThe...
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