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渗硫层能有效降低零件的摩擦系数．提高零件的抗擦伤性能和耐磨性能．但是单纯的低温离子渗硫不能保证特定工况的生产要求，选用其它处理技术与低温离子渗硫相结合的复合处理方法可以制得表层软、亚表层硬的理想固体自润滑涂层。综述了离子多元复合渗法（S-N，S-C-N，S-O,S-Mo），两步法（喷丸和超音速纳米化处理与低温离子渗硫、预置薄膜涂层与低温离子渗硫、激光处理技术与低温离子渗硫），以及多种复合处理技术相结合法的特点和部分应用实例，着重介绍了每种复合处理技术的工艺。针对目前复合处理技术在固体自润滑薄膜制备中存在的