【摘 要】
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通过对形貌检测中理论参考面相位分布规律的分析,对三维形貌轮廓术中参考面相位自动生成技术进行了研究.利用采集的待测物体栅线图样中未变形区域对应相位信息,通过最小二乘
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通过对形貌检测中理论参考面相位分布规律的分析,对三维形貌轮廓术中参考面相位自动生成技术进行了研究.利用采集的待测物体栅线图样中未变形区域对应相位信息,通过最小二乘迭代法数据拟合,获得理想参考面相位分布参数,也就是获得理想参考面上的相位分布.由于不需另外采集实物参考面变形光栅图像,不仅减少了实物参考面的采集步骤,而且不需要对实物参考面相位进行求解,这样就可以真正实现只采集一幅图像解调形貌,从而提高测试速度,同时还可避免由于采用实物参考面而存在的误差,使得求解兼有理想参考面方法与实物参考面方法的优点.利用改进的方法对塑胶小熊猫面具进行了实际测量,给出了测试结果.
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