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根据对内全反射(TIR)棱镜表面成指数衰减规律倏逝场的检测和分析。本文叙述了一种新型的光子扫描隧道显微技术(PSTM),被分析的样品置于棱镜表面,它空间调制了上述倏逝场。通过对被调制倏逝场的检测获得了远小于光波波长的空间分辩能力。PSTM实验系统中使用了633nm的He-Ne激光,用直径约300nm的光纤探针对不同薄膜样品进行检测,其结果与光隧道理论相符。