微纳加工材料综合实验设计与实践

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为了提高学生学习的主动性,让学生对微纳加工的方法原理应用等有更深入的了解和运用,本文将科研项目所使用的微纳加工技术巧妙地融入到实验教学过程中,设计了微纳加工综合实验,知识点涵盖了几种常用的微纳加工技术如光刻、软刻蚀、纳米压印等,实验内容兼顾综合性和趣味性,能为学生在今后解决材料微纳技工相关的现实问题奠定坚实的基础,同时可以为其他高校开展微纳加工实验提供借鉴。
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