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用原子力显微镜观察溶胶一凝胶法制备Al掺杂ZnO薄膜的表面形貌，运用多重分形理论研究Al掺杂ZnO薄膜的原子力显微图像，多重分形谱可以很好地定量表征薄膜的表面形貌。结果显示：Al掺杂量为0．5at．％的ZnO薄膜经550℃退火处理后，rms粗糙度为1.817，Al掺杂量为1．0at．％的ZnO薄膜经600℃退火处理后，rms粗糙度增大到4．625，相应的分形谱宽Δα从0．019增大到0．287，分形参数Δf由-0．075变为0．124。