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分别采用直流辉光、微波和电子回旋共振3种氧等离子体对CVD金刚石膜表面进行了刻蚀．利用扫描电子显微镜对三种等离子体刻蚀后金刚石膜表面的形貌进行了观察分析．通过对刻蚀后形貌差异的比较，探讨了它们各自的刻蚀机理，并从等离子体鞘层理论出发建立了刻蚀模型．
氧等离子体刻蚀CVD金刚石膜
【摘 要】
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分别采用直流辉光、微波和电子回旋共振3种氧等离子体对CVD金刚石膜表面进行了刻蚀．利用扫描电子显微镜对三种等离子体刻蚀后金刚石膜表面的形貌进行了观察分析．通过对刻蚀后形
【机 构】
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武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
【出 处】
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武汉工程大学学报
【发表日期】
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2009年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金（10875093）
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