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为解决精密直线电机位移装置中负载扰动、切削力波动以及参数的变化对系统性能影响较大的问题,利用在频率域选择加权函数,并将其转化到状态空间进行优化的方法,将H∞鲁棒控制算法应用到精密直线电机位移装置中.仿真实验证明,该控制器具有良好的跟踪性能,同时具有很好的抗干扰能力和较强的鲁棒性.与学习迭比例积分微分控制(PID)所达到的稳态跟踪误差±4μm和重复控制所达到的稳态跟踪误差±0.4μm相比,该H∞鲁棒控制算法使系统的跟踪精度有了明显的提高.