【摘 要】
：
物理气相沉积(PVD)是材料表面改性的主流发展方向,但国产化PVD设备的真空度低、密封性差及工艺性能失稳是导致国内PVD技术徘徊不前的主要原因.对PVD设备腔体的设计方法进行介
【机 构】
：
上海应用技术大学上海物理气相沉积(PVD)超硬涂层及装备工程技术研究中心,上海201418;上海离原环境科技有限公司,上海200241
论文部分内容阅读
物理气相沉积(PVD)是材料表面改性的主流发展方向,但国产化PVD设备的真空度低、密封性差及工艺性能失稳是导致国内PVD技术徘徊不前的主要原因.对PVD设备腔体的设计方法进行介绍,建立几何模型,并借助计算机数值模拟分析圆柱和正六面体炉腔在高真空及高温度状态下应力和变形情况,得出腔体几何形状与应力、变形集中的关系,并对比了两种腔体的分析数据.结果 表明,两种腔体的主要受力和变形位置均与开孔位置有关,圆柱腔体的变形和受力都小于正六面体形腔体.
其他文献
为预测液压支架立柱活塞杆堆焊过程的温度场分布情况,以ANSYS软件为平台,运用APDL编程及单元生死技术,在常温20、150、300℃预热情况下对活塞杆模型进行了焊接瞬态热分析,得
对国产75Cr1锯片钢进行800、840、860℃油淬再进行420、440、460℃回火处理试验.利用光学显微镜观察不同淬火温度下脱碳层形貌及淬火回火后的组织,分别用万能材料试验机、洛
针对传统方法解决齿条变形耗时耗力的现状,以某SNC815重载齿条为研究对象,运用现代有限元分析方法,对其渗碳后油淬过程的温度和相变结果进行了分析,找出该齿条的变形原因和规
利用金相显微镜、X射线衍射仪、洛氏硬度计等研究了淬回火工艺对BTW1耐磨钢组织与硬度的影响.结果表明:经880～980℃不同温度淬火后,BTW1钢组织主要为马氏体、残余奥氏体及少量
基体物相特性会对涂层硬质合金整体的力学性能产生重要影响.制备了具有不同WC晶粒度和Co含量的WC-Co系列硬质合金,采用直流磁控溅射技术在其表面沉积同种Ti094Si0.06N/TiAlSi
热处理对铸造Al-Si-Cu-Mg合金的强化起到至关重要的作用.针对某公司的铸造Al-Si-Cu-Mg合金热处理过程所需时间长的问题,研究了不同固溶温度、固溶时间组合以及不同时效温度、
利用机械振动辅助激光熔覆技术在高速钢表面制备了WC/Co-Cr梯度复合熔覆层.借助光学显微镜(OM)、X射线衍射(XRD)和HMV-G21 ST型显微硬度仪分析了各梯度熔覆层结合界面的微观
为研究蠕墨铸铁表面激光镍基/WC复合涂层的性能,利用SEM、EDS、摩擦磨损测试分析了激光功率、高温处理对熔覆层横截面微观组织、显微硬度、耐磨性的影响;考察了稀土元素对熔
为提高TC4 (Ti-6Al-4V)钛合金的表面硬度和耐磨性能,利用等离子氮化技术将TC4钛合金进行氮化处理,然后利用多弧离子镀技术在氮化层上制备了CrAlN涂层.分析了所制备涂层的表面
对40Cr-0.6V0.3W钢汽车花键轴的室温和高温磨损性能进行了测试和分析.结果 表明:随始锻温度和终锻温度的升高,花键轴的室温和高温磨损体积先减小后增大.与1160℃始锻温度相比