Y2O3纳米颗粒催化氮化Si粉制备Si3N4粉体

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ytcjy
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以聚乙二醇为表面活性剂,以氨水为沉淀剂,先采用沉淀法将氧化钇(Y2O3)纳米颗粒催化剂原位沉积于Si粉表面,再通过催化Si粉氮化工艺制备Si3N4粉体。研究了催化剂Y2O3的用量及氮化温度等对Si3N4粉体合成的影响。采用X射线衍射、扫描电子显微镜及能谱仪对产物的物相组成及显微结构进行了表征。结果表明:当Y2O3纳米颗粒的加入量为1%(质量分数,下同)时,试样于1350℃/2 h催化氮化后产物中残余单质Si含量最小,低于1%;氮化后产物中存在着长度约为几个微米,直径在20200 nm的晶须状Si3N4,其生长机理主要为气相-气相-固相(VVS)机理。
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