硫化锌基底上减反膜的镀制

来源 :第十一届全国薄膜学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dozen
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硫化锌是红外波段重要的光学材料,在许多光电系统应用中,要求镀制适当的减反膜增加其透过率.介绍了硫化锌基底上的减反膜,该设计是用薄的氧化钇层作为与硫化锌的结合层,用一氧化硅和锗分别作为低、高折射率膜料的膜堆组成的.这种五层膜满足环境稳定性标准,在3μm~5μm波段的某应用范围内平均透过率即可达96℅,并在4.2μm处有超过98℅的峰值透过率.
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