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介绍了基于自由载流子对介质折射率调制作用,而建立的监测半导体器件内自由载流子变化情况的实验装置,该装置能实时反映自由载流子变化情况,且对原电路无任何影响.本方法适用于硅和砷化镓材料的电子和光电子器件,也显示了在测量集成电路内部有源器件特性方面的潜在应用前景.
激光探针监测半导体器件内自由载流子浓度调制效应
【摘 要】
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介绍了基于自由载流子对介质折射率调制作用,而建立的监测半导体器件内自由载流子变化情况的实验装置,该装置能实时反映自由载流子变化情况,且对原电路无任何影响.本方法适用
【机 构】
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陕西师范大学物理学与信息技术学院
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2005年2期
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