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利用ANSYS软件建立了压电振子的有限元模型，对圆形压电振子的基板和压电陶瓷片的材料参数、结构参数对其变形的影响进行了分析和对比，根据仿真结果，确定了作为泵腔动力元件的圆形压电振子的参数。对选定的圆形压电振子进行了静态特性、阻抗特性和幅频特性的实验测试，研究了不同波形、不同电压、不同频率驱动信号对振子变形的影响。通过对比实验测试结果和有限元仿真结果，验证了有限元模型的可靠性，为优化压电晶片驱动器结构参数提供了有效的方法。