【摘 要】
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棒阳极X射线源能够深入到被检物内部进行无损检测，是具有小孔腔特征金属管壁零部件可靠性检测的首选方法。具有良好电子光学设计的聚焦系统是棒阳极X射线源获得高分辨率检测的关键之一。本文从电子光学理论出发，结合棒阳极X射线源的结构特点建立了聚焦系统模型；优化了其电子光学参数；搭建了样机并进行了分辨率测试实验。仿真与实验结果均表明在50-130kV加速电压下，样机的分辨率优于50μm。
【基金项目】
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电子束/X射线共性关键技术研发团队（GJJSTD20200004）； 中国科学院电工研究所科研基金（E155440101）；
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棒阳极X射线源能够深入到被检物内部进行无损检测，是具有小孔腔特征金属管壁零部件可靠性检测的首选方法。具有良好电子光学设计的聚焦系统是棒阳极X射线源获得高分辨率检测的关键之一。本文从电子光学理论出发，结合棒阳极X射线源的结构特点建立了聚焦系统模型；优化了其电子光学参数；搭建了样机并进行了分辨率测试实验。仿真与实验结果均表明在50-130kV加速电压下，样机的分辨率优于50μm。
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