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利用压电石英晶体设计并制作了一种谐振器型声表面波加速率传感器，并对其性能进行了测试和分析，特别是针对谐振式传感器的特点进行了动态性能的研究。测试结果和进一步的理论分析表明，声表面波加速度传感器具有很高的灵敏度，其动态响应主要于机械结构，而与敏感机理关系不大。
谐振式声表面波加速度传感器特性研究
【摘 要】
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利用压电石英晶体设计并制作了一种谐振器型声表面波加速率传感器，并对其性能进行了测试和分析，特别是针对谐振式传感器的特点进行了动态性能的研究。测试结果和进一步的理论分
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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1999年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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