【摘 要】
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研究了组分变化对CaO-B2O3-SiO2（CBS）系多元微晶玻璃微观结构、介电性能及相组成的影响。以CBS系微晶玻璃为基础配制生料带,并借助LTCC技术制备了多层微电路基片。探讨了影响LT
【基金项目】
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国家“863”计划资助项目(No.2007AA03Z455);江苏省科技支撑资助项目(No.BE2009168)
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研究了组分变化对CaO-B2O3-SiO2（CBS）系多元微晶玻璃微观结构、介电性能及相组成的影响。以CBS系微晶玻璃为基础配制生料带,并借助LTCC技术制备了多层微电路基片。探讨了影响LTCC多层微电路低温共烧金属化匹配的相关因素。结果表明：添加不同形态的SiO2均可有效降低微晶玻璃的相对介电常数εr,添加高硅氧玻璃则可增加微晶玻璃的介质损耗。经850℃烧结获得的w（SiO2）为15%的微晶玻璃的εr为6.0且在1～10MHz范围内随频率变化不大,介质损耗为1.2×10^-3。CBS系微晶玻璃
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