【摘 要】
：
真空封装技术和高性能闭环驱动控制方案,是提高MEMS陀螺仪性能的重要措施.通过器件级真空封装技术的研究,使得MEMS陀螺仪Q值达到3000,成品率达到98％,极大地提高了MEMS陀螺仪整
【机 构】
：
北京航天控制仪器研究所,东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室
论文部分内容阅读
真空封装技术和高性能闭环驱动控制方案,是提高MEMS陀螺仪性能的重要措施.通过器件级真空封装技术的研究,使得MEMS陀螺仪Q值达到3000,成品率达到98％,极大地提高了MEMS陀螺仪整表的精度水平和工程化能力,在此基础上,针对高Q值陀螺仪稳幅及稳频控制的难点,设计了一种基于随动控制的自动增益控制回路(AGC),在理论仿真的基础上,完成了系统及电路设计,实测驱动轴幅度稳定性为50ppm,频率稳定性为6ppm,上电起振时间优于200ms.采用真空封装技术及高精度AGC控制设计方案使得MEMS陀螺仪整表零偏稳定性达到37°/h,标度因数非线性度为0.2％(FS),标度因数重复性为35ppm,并存在很大的提升潜力.
其他文献
改革开放以来,我国的非营利组织得到较大程度的发展,活跃在我国社会经济生活的各个领域,对社会经济生活产生的重要的影响.本文通过对非营利组织的界定、产生与发展的原因等方
文章对事业单住人事管理进行了分析,明确了沟通的含义,分析了沟通协调的影响因素,最后给出了沟通与协调的策略.
农村信用社作为社会主义新农村建设中的主力军,对农村建设中所需资金提供了强有力的支出,但是目前关于农信社的法律地位、治理模式、风险防范等方面尚没有相关的法律规制,使
行政立法是行政管理的重要手段,功能主义公法现认为法律是政府统治工具,在这种公法现下,福利国家开始了"从摇篮到坟墓"的行政管理,我们国家在行政管理的过程中也比以往更注重
高校思想政治教育在实现创新的过程中,不能单纯依靠传统的显性教育,更要重视隐性教育对学生的启迪与影响.分析高校思想政治教育中隐性教育的内涵、特点,对开展隐性教育的途径
在律师发展成为一种正式职业,形成职业群体时,对其实行行业化管理就成为必然.随着律师制度的恢复与重建,律师管理体制也从国家司法行政机关全面管理律师工作,逐渐发展成为现
时钟控件是VB中一个非常重要的常用控件.灵活的运用时钟控件可以使VB程序在图形、动画设计等方面得到更好地运行效果.本文介绍了时钟控件在时钟利用、图形绘制和动画设计等方
密度计刻度间距不相等,可以用阿基米德原理及物体漂浮在液面的条件,运用初等方法加以证明。
Density meter scale spacing is not equal, you can use Archimedes principle
建筑物的后浇带是通过施工过程中的措施来解决设计中考虑沉降或伸缩的调整办法.除设计规定外,在施工期间必须根据规范及工程实际情况合理设置后浇带,并采取相应的施工技术措
对湖南省澧县文革桥的结构损坏情况进行的分析,阐述了维修加固的设计原则及有关施工工艺优化方案,通过对施工工艺安全性进行验算,表明工艺优化方案合理可行。
Based on the