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先进的CMP保持环及品圆处理设备技术
先进的CMP保持环及品圆处理设备技术
来源 :化工文摘 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yongqingf
【摘 要】
:
VICTREX PEEK由于具有耐受极端环境的能力,因此在要求出色均衡性能的半导体市场中得到了广泛的认同。
【出 处】
:
化工文摘
【发表日期】
:
2005年2期
【关键词】
:
聚合物
使用寿命
真空输送系统
微量元素
化学电镀设备
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VICTREX PEEK由于具有耐受极端环境的能力,因此在要求出色均衡性能的半导体市场中得到了广泛的认同。
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