【摘 要】
：
本文设计了一套技术方案,用于制备量子传感仪表的核心物理组件芯片级铷原子气室,工艺流程包括微小型硅孔容器制备、叠氮化铷(Rb N3)填充、晶圆级气密封装,以及叠氮化铷光照分
【机 构】
：
北京航天控制仪器研究所; 中国航天科技集团公司量子工程技术研究中心; 中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室;
论文部分内容阅读
本文设计了一套技术方案,用于制备量子传感仪表的核心物理组件芯片级铷原子气室,工艺流程包括微小型硅孔容器制备、叠氮化铷(Rb N3)填充、晶圆级气密封装,以及叠氮化铷光照分解等.利用阳极键合技术,通过改进的玻璃/硅片/玻璃三层晶圆气密封装工艺完成了芯片级铷原子池的封装制备.为实现玻璃/硅片/玻璃三层晶圆键合,在完成玻璃/硅片两层晶圆键合后,采用倾斜角度溅射的方法在玻璃/硅片键合结构的背面(即玻璃一面)和侧边镀制了一定厚度的Al金属膜,将电学接触引导至硅片,然后进行第二次阳极键合,以此获得高质量的玻璃/硅片/玻璃三层键合结构.通过显微镜、芯片剪切力测试和He检漏仪等手段对键合结构进行检测分析表明,三层键合结构的两个键合截面均具有良好的键合强度,键合结构的气密性优于2.5×10-8Pa·m3·s-1.完成气密封装后,采用光辐照分解的方法使腔室中的Rb N3分解成Rb和N2,获得了以N2作为缓冲气体的铷原子池.通过透射光谱表明Rb有效地存在于腔室之中,证明了该工艺方案对制备芯片级碱金属原子气室是简便可行的.
其他文献
《老人与海》是海明威登峰造极之作。小说以精炼简洁的语言塑造了圣地亚哥这一“硬汉子”形象。但人们往往忽略了作品中多次描写的圣地亚哥的无意识睡梦。本文主要运用弗洛伊
出口成本是外贸企业成本构成的重要组成部分,对其控制得好坏直接影响着外贸企业经济效益的高低。本文引入先进管理理念,以便加强对外贸企业出口成本的全面控制。
中医药文化是中华民族优秀传统文化的重要组成部分,是中医药学的根基和灵魂。弘扬中医药文化不仅有利于推动中医药事业的发展,还有利于树立文化自信,增强文化认同,扩大中华文
本文对流动儿童与留守儿童的社会化过程进行比较,分析结果发现在智育社会化与生活社会化方面,流动儿童与留守儿童不存在显著差异,在身心健康、知识面广度方面流动儿童优于留
随着国际交往的日益频繁,如何掌握好言语、非言语交际与文化之间的关系,达到一种良性的沟通,变得越来越重要。语言是交际的工具,是文化的载体;非言语是语言交际的补充,言语交
孔子美学思想初探刘珙孔子是一位与古希腊柏拉图、亚里士多德并驾齐驱的思想伟人．他的美学观以其广阔的文化背景，渗透于佛、道之中，影响了我国民族的审美心理结构和美学思想，建构
魏晋南北朝时期,药物计量单位有一些变化,度在使用中逐渐减少,称量药物的工具逐渐向质量计量单位靠拢。许多在汉代以前还是以度、量计算单位的药物开始也使用了衡的单位,有些
目的了解原发性肝癌患者血浆循环核酸p53基因突变情况,探讨其临床意义。方法提取57例原发性肝癌患者和40例乙型肝炎患者血浆循环核酸,应用聚合酶链反应(PCR)方法扩增p53基因5
目的:探索大学生社交回避及苦恼与生活事件的关系。方法:以社交回避及苦恼量表和青少年生活事件量表对郑州市三所高校530名学生进行整群抽样问卷调查。结果:(1)不同性别的大
当前,有些国有企业的基层党建工作中,在责任落实过程中存在着执行效力逐层衰减,实际结果留'迹'不留'心'等问题。为杜绝这一问题,国网冀北物资公司党委深度剖