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用Ｉｎ２Ｏ３作敏感膜研制小型固态高感度（ｓｅｎｓｉｂｉｌｉｔｙ）（１０×１０＾－９～１×１０＾－６）Ｏ３传感器，研究了膜厚，气体湿度和工作温度等对传感器敏感特性的影响，发现ＡＥＴ（ＡｄｓｏｒｐｔｉｏｎＥｆｆｅｃｔＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ）型Ｏ３传感器具有灵敏的响应特性，并分析了薄膜表面的化学吸附及其对薄膜电导的影响，以及ＡＥＴ作用对Ｏ３非常敏感的物理机制。