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透明导电氧化物薄膜《Transparent Conductive Oxides，简称TCO）用途广泛，介绍了TCO应用于光伏领域中的铜铟镓硒薄膜（CIGS）太阳电池，是CIGS太阳电池中不可缺少的一部分。简要阐述了其可见光范围内的透明性和导电性及其成因，以及作为CIGS薄膜太阳电池中窗口层的作用。将ITO和ZAO透明导电薄膜在CIGS太阳电池的应用进行相比，以掺铝的氧化锌（ZnO：AI简称ZAO）透明导电薄膜为例，对其性能、制备方法及过程进行了简要阐述，并概括了大面积ZAO薄膜的性能。