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用脉冲激光沉积法在Al2O3（0001）衬底上沉积了ZnO薄膜。衬底温度分别为300℃、400℃、500℃、600℃和700℃。利用X射线衍射（XRD）和光致发光谱（PL）对薄膜的结构和光学性能进行研究。X射线衍射的结果表明在不同温度下生长的ZnO薄膜均具有高度c轴择优取向，衬底温度400℃时，膜的应力较小质量较高。ZnO薄膜有很强的紫外发光峰，紫外发光峰的强度与衬底温度密切相关，并发现当衬底温度从300℃增到400℃时，紫外发射峰出现6nm的蓝移。