GEM膜碱刻工艺的初步研究

来源 :中国原子能科学研究院年报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chenyanzhao12
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GEM(Gas Electron Multiplier)探测器是由CERN(欧洲核子中心)的F.Sauli等在1997年发明的,是微型气体探测器的典型代表。目前,GEM探测器广泛应用于国际上几个大型的实验装置或升级项目中,如美国的JLab实验室(杰佛逊国家实验室)正在进行的12GeV升级改造项目中Hall A上的SoLID谱仪,其上就分布有GEM探测器。 The GEM (Gas Electron Multiplier) detector was invented by F.Sauli of CERN (European Nuclear Center) in 1997 and is a typical representative of the micro gas detector. Currently, GEM detectors are widely used in several large-scale experimental installations or upgrades internationally. For example, the SoLID spectrometer on Hall A in the ongoing 12GeV upgrade project at JLab Laboratory in the United States (Jefferson National Laboratory) , On which GEM detectors are distributed.
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