【摘 要】
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<正>1 DLC涂层中碳的存在形式有金刚石、石墨、富勒烯、碳纳米管和石墨烯等,不同形态的碳性能迥异。但其中有一种类金刚石薄膜(DLC)材料同时具备了金刚石的硬度和石墨的润滑
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<正>1 DLC涂层中碳的存在形式有金刚石、石墨、富勒烯、碳纳米管和石墨烯等,不同形态的碳性能迥异。但其中有一种类金刚石薄膜(DLC)材料同时具备了金刚石的硬度和石墨的润滑性,是亚稳的非晶态材料,见图1。按原子轨道杂化的理论,碳原子外壳层电子会分为三种不同的能态,即sp~1(直线型)、sp~2(正三角或层片型,石墨)、sp~3(正四面体,金刚石)三种杂化形式如图2所示。
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