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本文通过比较高压系统常用气态绝缘介质的性能,对比影响气体绝缘性能的关键参数,给出了透射电子显微镜高压电源箱绝缘材料的优化选择,介绍了六氟化硫（SF6）气体在透射电子显微镜高压电源绝缘中的应用,计算了充SF6绝缘气体的高压电源箱,并给出了透射电子显微镜高压箱的绝缘充SF6气体工艺。
透射电子显微镜高压电源箱气体绝缘技术及充气工艺
【摘 要】
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本文通过比较高压系统常用气态绝缘介质的性能,对比影响气体绝缘性能的关键参数,给出了透射电子显微镜高压电源箱绝缘材料的优化选择,介绍了六氟化硫（SF6）气体在透射电子显微镜
【机 构】
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北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室,北京电子科技职业学院,国营红峰机械厂
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2011年4期
【基金项目】
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国家科技支撑计划课题（2006BAK03A24）
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