溶胶凝胶法制备V2 O5薄膜及其热致相变光电特性

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ren198525

【摘要】

：

基于溶胶凝胶旋涂法和后退火工艺在石英玻璃基底上制备了高质量的V2 O5薄膜,研究其相变光学特性和电学特性。通过X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析了V2 O5薄膜的晶体

【作者】

：

李军显李毅周建忠赵文晴范丽娜

【机构】

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上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海市现代光学系统重点实验室

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2021年4期

【关键词】

：

V2 O5薄膜溶胶凝胶热致相变光学透过率电阻 V2 O5 film sol-gel thermotropic phase transitio

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划(863计划)(2006AA03Z348),教育部科学技术研究重点项目(207033),上海市科学技术委员会科技攻关计划(06DZ11415),上海市教育委员会科研创新计划重点项目(10ZZ94),上海市领军人才培养计划(2011-026)

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基于溶胶凝胶旋涂法和后退火工艺在石英玻璃基底上制备了高质量的V2 O5薄膜,研究其相变光学特性和电学特性。通过X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析了V2 O5薄膜的晶体结构和形貌,利用XPS图谱分析了V2 O5薄膜的组分。在不同偏压和不同温度下测试分析了V2 O5薄膜的光电特性和相变特性,结果表明室温下V2 O5薄膜在300~2000 nm波长范围的光学透过率达60%,薄膜在发生相变前后光学透过率有明显的变化,当升温到231℃时,V2 O5薄膜在900~1600 nm近红外波长范围内的光学透

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