机器视觉技术在固体材料形貌检测中的应用

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提出了一种基于图像球面化算法的机器视觉技术,建立了球面、椭球面和马鞍面三种模型,并将该技术应用于固体材料微纳米尺度形貌检测中.首先通过数学推演方式建立了图像球面化模型,然后以直线图像为标准图对各种模型做投影成像模拟,根据模拟成像结果分析不同模型的成像特征,并解释固体材料像旋转现象的产生机理.光干涉仪的实际测量结果表明,固体材料的实际形貌与模拟结论相符.该方法只需观察固体材料上反射的投影物体的像即可完成形变检测,测量过程简单易行,且对测试环境要求较低,适合于工业检测.
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