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采用直流反应溅射并结合热处理工艺制备锡基氧化物薄膜(SnOx,1≤x≤2),利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDX)、X射线衍射仪(XRD)考察退火温度对薄膜表面形貌、组成和结构的影响,并通过恒流充放电初步考察薄膜的电化学性能。研究结果表明,在400～600℃退火温度下制备的SnOx薄膜表面光滑、结构致密；随着退火温度的升高,薄膜中SnO的含量逐渐减少,SnO2的含量逐渐增加,薄膜的晶粒尺寸增大,大小为30～50nm；600℃退火2h获得的SnOx薄膜具有良好的电化学循环稳定性,有望成为高性能的全固态薄膜锂电池阳极材料。