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金属氢化物作阴极的真空弧离子源，假设其放电产生双温度的非平衡态，Ti-H等离子体，其内部的气体解离过程和粒子电离过程分别由Culdberg-Waage解离方程和Saha电离方程进行描述，结合原子发射光谱以及电荷准中性条件，求出，Ti-H等离子体的电子温度Te、重粒子温度瓦和粒子数密度之后，可更进一步对等离子体的质量密度、焓、比热容等热力学参数进行描述。在不同的电子数密度下，研究各参数随变量θ（电子温度Te与重粒子温度瓦的比值）变化的情况。计算结果显示：电子数密度已知，随θ值升高，除氢气分子数密度外，等离子