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主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术 :激励功率控制 ,超声频谐振频率的测量 ,频率特性的测定 ,品质因数的确定 ,克服电热效应的不良影响 ,同频干扰的抑制等。
硅谐振微传感器中微现象测量技术
【摘 要】
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主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。讨论了微现象测量中有关的技术 :激励功率控制 ,超声频谐振频率的测量 ,频率特性的测定 ,品质因数的确定 ,克服电热效应的不良影响 ,同频干扰的抑制等。
【机 构】
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北京航空航天大学自动化学院,北京航空航天大学自动化学院,北京航空航天大学自动化学院,北京航空航天大学自动化学院 北京,100083,北京,100083,北京,100083,北京,100083
【出 处】
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强度与环境
【发表日期】
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2002年01期
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